光刻机寿命？
十年。
一台光刻机的寿命也不仅仅在于一两代芯片，如果用193nm深紫外光刻机也是可以做到10nm乃至7nm芯片的生产的，只是工艺难度实现起来相对复杂，成本较高，比如采用自对准四次成型技术，就可以得到更加致密的结构，不过因为芯片层级的工艺变得复杂，需要更多掩模版和材料，所以用193nm光刻机生产7nm芯片非常不划算，所以到了这个程度必须上EUV光刻机。
寿命二十年左右。光刻机的寿命实际上没有一个正规数据，主要是看它的经济寿命，只要还能找到零部件更换光刻机就还有使用价值。据报道，佳能在1995年推出了光刻机 FPA3000i4 ，现在早就谈不上先进了， 但没想到二手设备价格大涨， 2014 年售价不过 10 万美元一台，现在要 170 万美元，涨价 17 倍之多。可见，一台26年的350nm制程的老机器依然还是有经济寿命的。