6纳米。
光刻机，简单来说就是用来制造芯片的机器。现在最主要的两种光刻机就是EUV光刻机和DUV光刻机。ASML公司向我国提供的光刻机主要就是EUV光刻机，其制作的芯片主要应用于手机、电脑等常见电子产品。
拥有13亿人口的我国，是电子产品的消费大国。如此庞大的人口红利催生出了庞大的工业产业链，也孕育出了强大的国产品牌，比如华为，小米等。制造电子产品最为核心的技术就是芯片。
由此可见，芯片作为电子设备制造的上游产品有着非常重要的作用。我国虽然近几年电子产品制造业迅猛发展，但是芯片的研发制造技术还没有完全突破。
4纳米5纳米级。
目前，芯片制造最先进的技术，还是在4纳米和5纳米工艺左右，今年下半年三星也才能量产3纳米工艺技术，这应该是目前ASML EUV光刻机技术，可以搭载的极限工艺了。所以目前看来，ASML则需要一项全新的技术，那就是此前公布的High-NA 光刻机技术。
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