DUV光刻机的全称是深紫外光刻机（Deep Ultraviolet Lithography Machine）。它是一种用于半导体制造的关键设备，用于将电路图案投射到硅片上。DUV光刻机使用波长为193纳米的深紫外光源，比传统的紫外光刻机波长更短，可以实现更高的分辨率和更小的特征尺寸。它具有高精度、高速度和高可靠性的特点，被广泛应用于集成电路制造和其他微纳加工领域。DUV光刻机的发展对于推动半导体技术的进步和提高芯片性能至关重要。
DUV光刻机全称为深紫外光刻机，是一种高精度半导体制造设备。它利用深紫外光对硅片进行曝光，从而在其表面形成图案。DUV光刻机是半导体制造过程中非常重要的设备之一，因为它可以实现非常小的线宽和间距，从而提高芯片的密度和性能。它可以在几纳米的级别内进行曝光，具有非常高的精度和稳定性。DUV光刻机是半导体行业的核心设备之一，对于提高芯片生产效率和制造精度都具有非常重要的意义。
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