扫描电子显微镜(SEM)中的探针电流是指扫描电子束照射到样本表面时,每单位时间内被样本表面吸收或散射的电子数量。探针电流的大小与样本表面的电子云密度、形态结构以及电子束的强度等因素有关。
控制探针电流在SEM中是非常重要的,原因如下:
样本损伤: 过高的探针电流可能导致样本表面的电子云被过多地移除,从而造成表面损伤,甚至导致样本的破坏。这在一些敏感的样本或者有机材料中特别重要。
图像质量: 探针电流的大小会直接影响SEM图像的质量。过高的探针电流可能导致图像过度曝光,失去细节并且产生强烈的反射。相反,适当控制的低探针电流可以获得更清晰的图像,减少噪声和失真。
充电效应: 在一些非导电的样本上,高电流的电子束可能导致样本表面的电荷累积,从而引起图像失真或者伪影。适当的探针电流可以减轻这种充电效应。
电子束的影响区域: 控制探针电流可以控制电子束在样本表面的影响区域大小。较小的影响区域有助于获得更高的图像分辨率。
样本保护: 控制探针电流可以延长样本的寿命,减少在扫描过程中的样本破坏,从而使SEM的使用更经济有效。
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