光刻机是一种高精度的半导体制造设备，通常由光源、光学系统、掩模、曝光台、显影系统等组成。其主要作用是将芯片设计图案通过掩模映射到硅片上，形成微米级别的芯片结构。光刻机具有高精度、高速度、高稳定性等特点，能够实现微米级别的制造要求。目前市场上主要有紫外光刻机和电子束光刻机两种类型，其中紫外光刻机是最常用的一种。光刻机在半导体制造、光学器件制造、微电子器件制造等领域有着广泛的应用。
类似CCD的机台设备。
光刻机（lithography）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
光刻机是一种半导体制造设备，用于制造微电子芯片和集成电路。它利用光学技术将芯片设计中的电路图案转移到硅片表面上，形成微米级别的图案和结构。光刻机是制造半导体芯片的关键设备之一，其制程精度和性能对于芯片的性能和品质有着至关重要的影响。
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