绥远位于今天的内蒙古中部，自古以来即为兵家必争之地。清代时，绥远属漠南蒙古的一部分，乾隆四年（1739年），清政府于归化城东北筑绥远城，设绥远城厅，为绥远将军驻所，绥远也因此得名。1912年10月，有日本陆军士官学校“士官三杰”之称的张绍曾出任绥远将军，当时正值外蒙叛军分三路南侵，张绍曾指挥三路军队迎敌，打退了入侵叛军，为维护边疆立下战功，时任大总统袁世凯为表彰其功绩，授予他陆军上将、勋三位秩爵和一等文虎章。
热河，位于目前河北省、辽宁省和内蒙古自治区交界地带。热河历史悠久，但它的崛起却是在清朝随着避暑山庄（也叫热河行宫）和外八庙的兴建而逐渐发展起来的。热河以水得名，因流经承德市的武烈河，上中游有温泉注入，严冬时节，清泉脉脉，雾霭蒸腾。乾隆曾有“荷花仲秋见，唯应此热泉”的诗句。此地因“去京师至近，章奏朝发夕至”的优越地理条件，清初设热河总管衙门，乾隆三年（1738年）改总都统为副都统，嘉庆十五年（1810年）升为都统，隶属直隶省管辖。热河处于蒙古、西北、东北之间，其战略地位至关重要，在清末，岑春煊、左少佐、程德全等地方官员从巩固边防的角度就曾建议热河设省，但一直未能实行。1912年11月30日，北洋政府任命熊希龄为热河都统。熊经过认真的考察后，在1913年4月致电中央政府，提出了《热河改建行省议案》，主张“居近日而言治理热河之政策，非先从改建行省入手不可”。他认为，热河建省可巩固内蒙古地区，控制外蒙局势。
“察哈尔”之名源于蒙古察哈尔部。康熙十四年（1675年），察哈尔部首领布尔尼举兵反清，被清廷镇压后，将其余部迁到宣化、大同以外，收编为察哈尔八旗，察哈尔八旗的游牧地就形成了察哈尔地区。察哈尔地区地域辽阔，水草丰美，清朝政府这里设有许多马场、饲养牛羊，以满足军队、皇室、王公大臣们的马匹、肉食、乳制品的需求。察哈尔地处东北、外蒙、京师之间，辛亥革命后，在外蒙被沙俄操纵、东北地区军阀势力强大且日本侵略势力较强的情势下，战略之要不言而喻。
1912年3月，袁世凯就任中华民国临时大总统，他深知控制边疆对稳定统治的重要性。为了加强对内蒙古地区的统治，他一面通过蒙古待遇条例和加封晋爵等措施笼络蒙古王公贵族；一面继续沿袭清政府分割统治蒙旗的政策，接受熊希龄等人的建议，将清末在蒙古地区划分行省的计划向前推进了一步。1914年7月6日，根据北洋政府教令第九十三号公布，明确规定热河、察哈尔、绥远三个特别区，并设置都统管辖。特别区虽无省的名分，但实际上却相当于一个省，都统掌握军政民政大权。当时《东方日报》评论道：“都统职权本不亚于督军、省长，不过因特别区缘故，沿用旧时名称而已”。在经济上，袁世凯也继承了清末“移民实边”、开垦蒙地的政策，蒙汉杂居的局面更为复杂。可以说，这对于当时稳定内蒙古动荡局势，稳固北洋军阀的统治有着十分重要的意义。
但从北洋政府设立三个特别区到南京国民政府成立，北方边疆局势不但没有安定下来，反而恶化，除了原有俄国势力外，日本又开始要求所谓的“满蒙区域特殊利益”。外来的威胁使国民政府更加意识到塞北地区的重要性，中央政府也就不能不在北洋政府设立特别区的基础上进一步加强统治。1928年，南京国民政府内政部以《建国大纲》中仅有省治，并无特别区之规定，建议将热、察、绥三个特别行政区改省。在国民党战地政务委员会主任委员蒋作宾的提议下，国民政府于当年9月17日正式将三特别行政区改为省。这样，内蒙古这个地域名称就在袁世凯设三特别区和国民政府设省的进程中被逐步取消。
直至1947年4月23日，在王爷庙（今乌兰浩特市）举行内蒙古人民代表会议，来自内蒙古大部分盟旗的蒙古、达斡尔、鄂温克、汉、满、回、朝鲜等各民族代表393人出席会议。会议通过决议成立了内蒙古自治政府，选举乌兰夫 为自治政府主席。会议决定每年的5月1日为内蒙古自治政府成立纪念日，包含了察哈尔省、兴安省以及宁夏省 、热河省、黑龙江省和绥远省的部份地区。查看